· Tampon de polissage CMP
nom du produit :
Tampon de polissage CMP
modèle de produit : JH5900
Description du produit:
Le tampon CMP est constitué d'un film de carbone composite PET synthétisé par un procédé spécial.La surface du produit fini est lisse et plate, résistante aux rayures, aux acides et aux alcalis.La valeur de résistance de surface permanente est inférieure à 1K Ω, ce qui est uniforme et stable.Il peut rapidement disperser la poudre accumulée pendant le polissage.Comparé aux tampons de polissage fabriqués par la méthode de revêtement traditionnelle, ce produit a une durée de vie plus longue (2,5 à 5 fois plus durable).
Application:
Procédé de polissage de plaquettes utilisé.
Les principaux paramètres techniques :
Résistance générale (Ω/Sq) | Épaisseur (μm) | Largeur (mm) | Longueur (m) | Utilisation de la température (℃) |
≤ 1K | 40 ~ 50 | 5~520 | Personnalisé | -100~260 |
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